百年清华

王曦:专注于用硅做“三明治”

2010-06-30 |

王曦最擅长的,是用硅做一种“三明治”:在一张0.5毫米厚的硅片上,在距表面100纳米下,注入一层几百纳米、厚薄均匀的二氧化硅“夹心”——这就是英文缩写为SOI的高端集成电路硅基材料。王曦带领他的团队,花了10年,生产出了高品质的SOI材料,并初步实现了产业化。

王曦学长2008年校庆回校参加1983级毕业20周年活动时,

在主楼前厅1983级捐赠壁画前留影

SOI是地道的高技术产品。价值20美元的硅片注入了这层“夹心”后,身价立刻猛增至200美元。用SOI来做芯片,不仅速度可提高35%,还可降低能耗70%,并可适应包括宇宙空间在内的很多恶劣环境。

可是,难点就在于要将这层“夹心”做得均匀——稍有不匀,整个硅片会呈现彩虹般的光泽,或“满脸”麻点。离子注入制备SOI技术,国外一直对我国实行封锁。做出高品质的国产SOI材料,其意义不言而喻。

从上世纪80年代起,中科院上海冶金所(现上海微系统所)就开始了对SOI的研究,但一直停留在实验室水平。这意味着,SOI材料既无法批量生产,质量也不稳定。

从进入清华大学起,王曦就专注于“离子注入”技术,直到现在。从1998年起,他带领团队花了四五年时间,完成了材料技术工程化研究——如今的SOI晶圆片表面泛着均匀的粉色。

把SOI拉出研究所,成立公司完成产业化,是王曦的一个重要转折。

“在新傲科技公司,近百名员工5年内全心扑在SOI的研发和生产上——这是研究所无论如何做不到的!”他说,刚“下海”的时候,曾以为“技术为王”,但后来才感觉到市场、资本和管理,都非常重要。当时,王曦全球跑,与飞利浦、索尼、东芝等公司一家家进行交流,“这让我对市场有了新的、更深的理解。”

考虑成本、贴近客户需求……这让新傲很快有了起色。如今,新傲的产品不仅满足国内市场的需求,还吸引了包括飞利浦、东芝等大公司在内的很多国际客户。“有人预测,未来10年,国内的卫星都能用上SOI材料做的芯片。”

“企业化运作的好处在于,赚了钱可以继续投入做更好的技术、扩大规模。现在新傲公司的设备比所里的好很多。”说到这里,王曦有点兴奋,语调也随之提高。最近,新傲还研发出了一项独步世界的新方法——特殊键合(下转第100页)(上接第103页)SOI方法,可以满足汽车电子对于SOI材料均匀性、电学性能的苛刻要求。“一般SOI材料的‘夹心’不超过400纳米(0.4微米),而这种方法可将‘夹心’非常均匀地做厚到1~2微米。”

“要不是金融危机,新傲今年本来准备考虑上市。”身为新傲的董事长,王曦说,这10年自己最大的收获,就是高技术一定要在市场中发展,才真正具有生命力。今年3月,他出任微系统所法人代表、常务副所长,上任后立刻着手推进所里另两个高技术项目的产业化进程——MEMS传感器和无线传感网。

“其实我只专长离子注入SOI”,提及当选院士的感想,王曦说,一个人的精力有限,只有在一个领域中持之以恒,才能做出一些成绩。“是科技成果转化成就了我,如果让我再选择一次,我还会选择走高技术与市场结合的路。”(许琦敏)

转自2009年12月5日《文汇报》

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