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执着追求 精益求精

2007-05-29 |

——记82级自动化系校友景玉鹏

1982年,景玉鹏从古城西安走入清华园,进入自动化系工业仪表与检测专业学习。大学期间,景玉鹏的学习兴趣之广令人叹服。在他的书桌上,可以找到从微生物、矿石到考古、现代医学等各种书籍。

毕业后,景玉鹏被分配到武警技术学院从事火灾检测传感器的开发与教学工作。这一干就是将近10年,参与了多项防火及安全工程设计。多年的教学和科研经验使他深切体会到我国的火灾传感器基础技术和工艺与国际先进水平还有相当大的差距。于是1996年,景玉鹏自费来到日本,一边工作一边开始学习研究传感器的基础技术。

初始,景玉鹏在大阪府立产业综合技术研究所,以半导体平面工艺技术,研究开发机器人微米尺寸的气敏传感器阵列。后来,景玉鹏到姬路工业大学从师高山洋一先生,开始深入研究单晶硅的碱性异向腐蚀添加剂的影响。他首次发现碘对提高腐蚀界面光洁度的影响,并取得了工学博士学位。2003年日本富士通公司依靠FBAR射频滤波器巨大的市场回报,在明石研究所成立RF MEMS攻关组,景玉鹏加入并负责可变电容、电感和静电射频开关的开发研制工作,并很快提出无应力单晶硅单臂梁结构开关,成功地解决了薄膜工艺的应力变形问题。并在SOI上取得了实验的成功。景玉鹏在日本近十年的时间里经历了技术和产业界的全面磨砺。

2 0 0 5 年, 景玉鹏怀着巨大的爱国热情毅然回国, 加入中国科学院微电子研究所, 担任研究员, 潜心指导数名博士研究生,在M E M SMICROELECTRO MECHANICAL SYSTEMS,在打印机喷头和汽车加速度传感器领域应用广泛)和RF MEMS(利用MEMS技术开发射频器件的技术)等高技术前沿方向上继续从事研究工作。他还将RF MEMS的单晶硅单臂梁结构开关发展成为推拉撬板式结构的开关,从根本上解决了现射频MEMS开关没有恢复力的世界性难题,并在国内申请了两项专利。

82级自动化系自仪22班供稿)

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